延安汉中榆林安康商洛有机硅消泡剂 消泡剂的正确使用方法
咸阳,杨凌2021-02-27 16:29:02
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光致抗蚀剂溶解液的消泡剂
光致抗蚀剂溶解液的消泡剂组合物,其特征 表示的化合物A和化合物B作为必要成分,
化合物B是从丙二醇、丙三醇、三羟甲基丙烷中选出的至少一种
与环氧丙烷加成后,再与环氧乙烷加成得到的化合物,其重均分子量 是1500?5000,而且聚环氧乙烯基在整个化合物中所占的比例是5? 25重量%,
其中含有50?97重量%的化合物A、3?50重量%的化合物B。
光致抗蚀剂溶解液,其特征在于该溶液为pH值为8.0?14.0的 碱性溶液,而且添加了 0.01?1.00体积%权利要求1所述的消泡剂组合物。
光致抗蚀剂的溶解方法,其特征光致抗蚀剂溶解液。
用于光致抗蚀剂溶解液的消泡剂组合物
技术领域
光致抗蚀剂溶解液的消泡剂组合物、添加该消 剂组合物而得到的光致抗蚀剂溶解液、以及使用该光致抗蚀剂溶解液 的光致抗蚀剂溶解方法。
背景技术
很早以来,印刷电路的形成、引线框架等的金属加工、等离子显示屏的间壁形成加工、基材的保护材料都使用着光致抗蚀剂。在使光致抗蚀剂时,使用了光致抗蚀剂溶解液,已知主要的光致抗蚀剂溶解液有显象液和剥离液。
光致抗蚀剂,用活化射线照射后,未曝光部分和曝光部分产生对显象液的溶解性差异,使用显象液的目的是为了除去显示溶解性的部 分。被活化射线照射后,光致抗蚀剂中对显象液不溶解的部分在基材上形成被膜,对于经显象后除去光致抗蚀剂而露出的基材可进行浸蚀、镀层等加工,被膜覆盖的部分被保护而发挥抗蚀膜的性能。
剥离液,是为了从基材上除去加工中所用的光致抗蚀剂被膜而使用的。
可以使用各种光致抗蚀剂溶解液,除了以往所使用的有机溶剂外,还大量使用近年环境保护所要求的碱性溶液,特别是碱水溶液。
光致抗蚀剂的溶解方法包括通过将光致抗蚀剂溶解液滴下、淋浴 或喷洒到光致抗蚀剂表面的方法和浸溃在光致抗蚀剂溶解液中的方法。这些方法都可以使光致抗蚀剂溶解液循环使用,然而喷洒方法容易发泡,所以需要使用消泡剂。
光致抗蚀剂溶解液容易发泡,需要具有充分效果的消泡剂。 另外,随着微型化,在显象后所形成的光致抗蚀剂被膜模板的间隙也变狭窄,除去产生的凝聚物变得困难,所以抑制凝聚物的发生越来越重要了。
可是,用于显象液和剥离液的以往的消泡剂中,酯系的消泡剂, 在碱浓度高的状态下,因发生水解而使其持续效果差。失去消泡剂的作用时,光致抗蚀剂溶解液的发泡现象严重,并且引起处理装置的停止,会产生生产率下降,需要不断地更换光致抗蚀剂溶解液,使得成本提高。
另外,以往的醚系消泡剂,虽然具有消泡效果,但是在光致抗蚀 剂溶解液中的分散性差,与溶解在显象液或剥离液中的光致抗蚀剂成 分作用,凝聚物的产生更加显著。成为制品不良的原因。
光致抗蚀剂对应于上述的微型化,要求髙解像性。为了提高光致抗蚀剂的解像度,在组合物中作为光聚合性单体使用了多官能的单体,但是多官能的单体大多是疏水性结构,根据添加量不同,析出或成为油状物,通过与消泡剂的上述作用成为凝聚物。特别是聚氨酯系单体中可以显著地看到凝聚物的发生。
即以往的消泡剂,还没有发现兼备凝聚物发生少和消泡效果充分的性能,对于添加了以往消泡剂的光致抗蚀剂溶解液及使用该溶液的方法,不能改善由于发泡而造成的生产率下降及成本上升、由于凝聚物的发生而产生不合格品的情况,而且,很难得到光致抗蚀剂的高解像度。
消泡剂组合物的光致抗蚀剂溶解液中溶解的光致抗蚀剂,可以使用以往的形态。作为光致抗蚀剂的形态,广泛使用溶液或干膜抗蚀剂。溶液型的光致抗蚀剂是光致抗蚀剂溶解在溶剂中的溶液,用旋转喷涂、浸渍涂层、辊涂、帘涂等方法,涂敷在基材上干燥, 得到光致抗蚀剂的被膜。干膜抗蚀膜是通过用膜涂器、深浸渍等的方法,将光致抗蚀剂成分溶解在溶剂中的溶液涂敷在支撑膜上、干燥形成光致抗蚀剂层后,根据需要,复合盖膜后,通常卷成辊状得到。将干膜抗蚀膜剥离复合盖膜后用热辊式层压机等进行热压后得到光致抗 蚀剂被膜。另外,在与光致抗蚀剂层的基材相反侧的支撑膜在显象前 和曝光前被剥离。
光致抗蚀剂的溶解方法可利用,在被溶解的光致抗蚀剂被膜上供给光致抗蚀剂溶解液的方法和将光致抗蚀剂被膜的整个基材浸渍在光致抗蚀剂溶解液中的方法等。
聚硅氧烷消泡剂硅氧烷为基剂的浮液型消泡剂
硅氧規为基剂的乳液型消泡,具体地说渉及一种具項出色消泡能力和极好的消泡活性持久性的以硅氧烷为基剂(S i 1 i c o ne-b a s e d ) 的乳液型消泡剂。
制备以硅氧烷为基剂的水乳液型消泡剂是一项成熟的技术,二氧化鈦,氧化铝及类似物质组成的液体硅氧烷基剂组合物或上迷物质组成的油组合物在水介质中分散并使其乳化的技术。
硅氧烷为基剂的乳般型消泡型,所说消泡剂的消泡能力和消泡活性持久性及其对稳足性,主要取决于油组合物不身的特性,而其乳化条件(即增加该硅油组合物的茉水性, 促逬买在水友泡介质甲的分散作用等),并不具有本质上的重要意义。
因此,迄今在改逬以姪氧烷为基剂的乳液型消泡剂方面的努力,自 然就主要针对这种硅油组合物的改性上。
技术中具体做法是通过适当控制乳化剂量来改善以硅氧烷基剂的乳液型消泡剂的乳液稳定性。也就是也增加乳化剂量虽然牺牲了初始消泡活性和消泡能力,但是由于乳液粒子的体积平均粒径减小的结果而具有增加乳液稳定性之作用。另一方面,当乳化剂量凋小到一 定程度,以致引起倒稚时,由于乳液粒子粗化的结果可以改进初始消泡活性和消泡能力,但是却伴随着消泡活性持久性方面减小的缺点,这是由于乳液粒子。即使把乳化剂控制隹 佳值,乳液型硅氧基消泡剂也不可避免地,即能恒足的乳液粒子直径,因而由于大气温度和水温度在冬夏之间存在差别,由于水体积和倒相温度不适当而使消泡剂性能不够可靠。
产品提供的以硅氧烷剂的乳液型消泡剂,消泡剂已有技术中的那些问题和缺点,不发明消泡剂千含,作为乳液介质的水,溶解在该水介质中作为乳化剂的表面活性剂,以及有机聚廷氧烷组合物,该组合物由臂机聚硅氧規和粉碎得很细的氧化硅填料所组庾并且以乳化的粒子形式分散于上迩水介质中,粒度分布是粒径分散粒子之体积分数至少为4 0 9oo 因此,产品提供了一种使水发泡液消泡的有效方法,硅氧烷为基剂的乳液型消海剂。
主要特征是作为被分散相的所说有机聚桂氧烷组合物在所说水乳液介质中有特定粒度分布。也就是讥仅当被乳化粒子的粒度分布满足这样条件时,乳液粒子之体积分数至少为4 0%时,硅氧烷消泡乳液才可以表现出极出色的性能,同时消泡能力和消泡活性持久性也充分得到兼顾。满足这种粒度分布条件财, 任何发泡液的泡沬膜可以接近这些乳液粒子,易于在其上被吸附,乳液粒子而遛到破坏,而且这种作用可以长时间保持。
硅氧硅为基剂的乳液型消泡剂的被分散相,聚硅氧烷和粉碎得很细的二氧化硅填料组庇的有机聚硅氧烷组合物。
消泡剂的初始消泡活性降低,对破坏厚泡沫膜的粗泡沫的消泡能力也降低。 好事先将欲以乳化的有机聚硅氧烷组合物和表面活性剂的混合物加热,并且把欲加入此分散液千的附加量水保持在受控温度.制备具有指定粒度分布的以硅氧烷为基剂的乳液型消泡剂时,按照这种方式控制倒相时混合物的温度,良好的再现性。
附加水的体积,应当足以便水/油型(油包水型) 乳液转变成油/水型(水包油型)乳液。产生倒相所需的水的怀积对控制乳液的粒度分布是有效的。对于被乳化粒子的粒度分布具,控制作用的其它因素包括倒相时引起分散作用所需的搅动条件,例如抱拌器的夹型及其速度。
制备的乳液型消泡剂,乳液本身的出色稳定性之外在消泡能力和消泡活性持久性方面特别优越,显示出强消泡能力并且可以破坏厚泡沫膜的粗泡沐。消泡剂在生产过程中以及在食品、发酵、纸浆和造纸工业的污水处理.也可以用于各种发泡水液的消泡处理。
丁苯橡胶生产的水乳型乳液消泡剂
1.应用于丁苯橡胶生产的水乳型乳液消泡剂,含有消泡剂聚氧丙甘油及其乳化剂,其特 征在于,
乳化剂为N-聚氧乙烯脂肪酰胺,按的混合脂肪酰胺与3-5mol环氧乙烷的比例由公知方法合成;
N-聚氧乙烯脂肪酰胺占2-5%份(重量),聚氧丙烯甘油醚占95-98%份(重量)?
表面活性剂及其精细有机合成(含 胶体化学)?
目前,国内外生产的聚型消泡剂其消泡效果虽较显著,但在工业上于水中使用,由于乳化较差,其消泡及抑泡效果大大降低.
目的就是为改进GP在水中使用效果的缺点,新型水乳型乳液消泡剂及其生产方法.
本产品的构思是,筛选一种乳化剂复配到GP中,使GP(油相)在水中形成稳定的乳浊液,提高其消泡及抑泡效果,GP是属于非离子聚醚型消泡剂,因此在选择乳化剂时,也应当是非离子聚醚型的,经验证明,两者的结构愈相近,其亲合力愈好,非离子聚醚型乳化剂在水溶液中呈中性的分子或胶束状态,没有离子解离,对酸、碱、金属盐溶液比较稳定,起泡性小,在低浓度情况下有良好的乳化性能.在聚氧乙烯_类的非离子型乳化剂中,对于同一品种来说,由于它的组份氧化乙烯在分子中所占的比例可以进行调节,所以可得到一系列不同HLB值的物质,极大的扩大了表面活性剂的用范围.依据乳化剂对原理及HLB值进行了的筛选,选择了聚氧乙烯脂肪酰胺乳化剂比较理想.该乳化剂具有以下优点:
(1)该乳化剂与GP的互溶性好,形成均匀稳定的混合油.
(2)该混合油在水中能迅速自动地均匀分散成带荧光的分散液,稍加搅拌即成半透明溶液,而且形成的乳浊液相当稳定.
(3)该乳化剂是非离子聚醚型,在水溶液中呈中性的分子或胶束状态,对酸、减、金属盐溶液比较稳定,起泡性小,有良好的乳化性能.
(4)该乳化剂中聚氧乙烯链段,由于它的组份氧化乙烯在分子中所占比例容易进行调节,按照要求获得不同HLB值的物质.
(5)该乳化剂的主要原料混合脂肪酸酰胺, 是生产油酸酜胺等的下脚料,原料来源方便,价格便宜?
本水乳型乳液消泡剂是用特定的聚型消泡剂 聚氧丙烯甘油(GP)和筛选出HLB值8-12的 聚氧乙烯脂肪胺乳化剂复配而成的混合油?
水乳型乳液消泡剂乳化性能良好,配制成可以在水中乳化的用于SBR工业中的乳液型消泡剂,此种乳液的稳定性及润湿性都很好,对水温及水质变化适应性也较强.经货试证明其消泡及抑泡效果显著,消抱的性及持久力均优越,完全可以满足生产优质丁苯橡胶的要求,同时,在医药、 食品酿造等工业的应用效果,远远优于目前使用的 GP型消泡剂.
实施过程:
一、制备聚氧丙烯甘油醚(GP)
1.甘油皂的制备:起始剂甘油与催化剂(占反 应物总量的0.5%) KOH在90t反应生成甘油 皂,减压脱水,然后再与环氧丙烷聚合.
2.合成GP型聚醚:在聚合釜中加人按配比计童的经处理过的环氧丙烷(甘油:环氧丙烷=1 : 50,重量比),在搅拌下加人制备好的甘油皂,通氮气,排除釜内空气,升温至表压在0.5MPa下反应(伴随冷却),当表压降至0.2MPa 时,通氣气加压闷釜聚合完毕,真空脱除小分子物质,压入中和釜,用草酸中和并用活性炭脱色,板压滤.
二、制备N-聚氧乙烯脂肪酰胺
将Imol混合脂肪酰胺和催化剂(占反应物总 量的0.5-1%) KOH投人高压釜中,加热熔化,上盖关闭,启动搅拌,抽真空后用氮气分批压入环 氧乙烷3- 5mols,升温至90- 100C ,压力 0.2-0.4MPa,环氧乙烷加完后,继续反应半小时左右,降温,待压力为0时,放料.
三、本水乳型乳液消泡剂组成及其配制
本水乳型乳液消泡剂含有95-98%份(重量)
GP型聚醚和2-5%份(重童)N-聚氧乙烯脂肪 酰胺.
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本水乳型乳液消泡剂配制方法是,称重95-98V?份GP型聚醚和2-5%份N-聚氧乙烯脂 妨胺,加热搅拌成均匀的浅黄色透明的混合油
联系电话:15271995321